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硅谐振压力传感器工作原理(高温谐振式压力传感器)

来源:原点资讯(www.yd166.com)时间:2025-06-06 22:33:08作者:YD166手机阅读>>

硅谐振压力传感器工作原理,高温谐振式压力传感器(1)

硅谐振梁处于永久磁铁提供的磁场中,与变送器放大器组成一正反馈回路让谐振梁在回路中震荡。当单晶硅片上的上下表面受到压力差时将产生形变,中心处受至压缩力,边缘处受到张力,因而两个形状谐振梁分别感应不同的应变作用,其结果是中心谐振梁受到压缩力而频减少,边侧谐振梁因受到张力而频率之差对应不同的压力信号。

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