光切显微镜是一种常用的表面粗糙度测试仪器，可以测量表面的三维形貌和粗糙度参数。其中，常用的表面粗糙度参数包括Ra、Rz、Rq等，这些参数可以反映表面的平均粗糙度、最大峰-谷值、均方根粗糙度等特征，是评价表面质量的重要指标。

通过光切显微镜测量表面粗糙度参数，可以有效地评估材料的表面质量，对于生产加工工艺的控制和优化具有重要意义。

光切显微镜只能测量外表面上的轮廓最大高度Rz和轮廓单元平均高度RSm。