对于水气管路、真空腔等，气密性是保证设备正常运行或达到良好效果的重要指标，尤其是半导体设备内有易燃易爆或腐蚀性、有毒气体时，良好的气密性是保证安全的前提。不同的场合对气密性有不同的要求，常见的10种泄漏检测方法如下：

气密性检测方法对比

利用皂泡法进行接口检漏时，在管路内充入一定压力的示漏气体后，在怀疑有漏孔的地方涂抹肥皂液，形成肥皂泡说明有泄漏。专业规范测试可以采用气体泄漏检测喷剂。

皂泡法操作示意

容器内或管道内充满气体 ，一旦有漏孔,，气体就会冲出。当漏孔尺寸较小且雷诺数较高时，冲出气体就会形成湍流，湍流在漏孔附近会产生一定频率的声波，声波振动的频率与漏孔尺寸有关，漏孔较大时人耳可听到漏气声。当漏孔很小且声波频率很高时，人耳就听不到了，但它们能在空气中传播，被称作空载超声波。超声波是高频短波信号，其强度随着传播距离的增加而迅速衰减。超声波具有指向性，利用这个特征，即可判断出正确的泄漏位置。

超声波检漏仪