4、扫描偏转线圈

为了实现镜筒和显示屏中运行的电子束按照一定方式和规律产生同步扫描，必须在电子束到达试样表面后对其进行控制，使其在试样表面上做可控而有规律的光栅状扫描。在镜筒内设计上、下两组扫描线圈，可以驱动电子束按照从左到右、从上到下的规则扫描方式，逐点、逐行依序在试样表面进行扫描，如图15所示。通过使用同一扫描信号发生器来同时控制和驱动镜筒的扫描线圈以及显示屏的扫描装置，可以实现电子束在试样上的扫描与显示屏上的扫描完全同步。

5、物镜

物镜在扫描电镜中具有关键作用，其主要功能是对电子束进行最终的聚焦，将电子束再次缩小并聚焦到试样表面。目前，常用的场发射物镜通常可分为三种模式，即外透镜方式、内透镜方式和半内透镜方式。这三种物镜模式的结构和特点如图16所示。

三、典型SEM设备介绍

泽攸科技ZEM20台式扫描电微镜操作简便，仅需鼠标即可完成所有操作，一体式聚光镜，无需手动调节光阑。信号采集带宽高达10M，抽真空时间小于30s，光学导航&舱内摄像头，支持快速找样，样品舱实时观察，软件支持自动亮度对比度、自动聚焦、自动消像散、大图拼接，扫描速度快，视频模式下实时观察样品。丰富的原位拓展功能，可兼容自研原位电镜附件（拉伸样品台、加热台、TEC冷台等）。