同花顺(300033)金融研究中心5月14日讯,有投资者向大族激光(002008)提问, 请问公司的光刻机和芯片纳米级光刻机的原理一样吗?二者有什么区别?
公司回答表示,尊敬的投资者,您好!微米/亚微米级光刻机和纳米级光刻机在加工精度上有巨大差距,其光源、光路系统、对准系统、工件台以及整体工艺等方面均有着极大的差别,谢谢。
本文源自同花顺金融研究中心
来源:原点资讯(www.yd166.com)时间:2023-11-23 07:43:59作者:YD166手机阅读>>
同花顺(300033)金融研究中心5月14日讯,有投资者向大族激光(002008)提问, 请问公司的光刻机和芯片纳米级光刻机的原理一样吗?二者有什么区别?
公司回答表示,尊敬的投资者,您好!微米/亚微米级光刻机和纳米级光刻机在加工精度上有巨大差距,其光源、光路系统、对准系统、工件台以及整体工艺等方面均有着极大的差别,谢谢。
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