【やや】

（在有比较的情况下）偏（稍显）怎么怎么样一点，

这里的怎么怎么样用形容词，多是用在给人的感觉上，某样东西偏了或者少了，多了之类的。

【すこし】

可形容量，后面要跟东西，

比如说【稍微吃点吧】

这里肯定不能用【やや】跟【少々】

要说「少し食べてみたら？」

这里的【少し】后面尽管跟了动词，其实【少し】形容的是吃的东西的量。

【少々】

经常听到「少々お待ちください」

这里中文说成：请稍等。

【少々】可不仅仅是【稍微】的意思，

而是稍微给我点时间，稍微等待一会儿（等的是时间）。

那个【やや】我都N久没用了，如果有反对意见大家可以提哈。。我都快忘记了。。